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抗蝕劑及其微細(xì)加工技術(shù)

抗蝕劑及其微細(xì)加工技術(shù)

定　價(jià)：￥6.50

作　者： 顧振軍，孫猛主編
出版社： 上海交通大學(xué)出版社
叢編項(xiàng)：
標(biāo)　簽： 集成電路 耐蝕材料 集成電路工藝
ISBN： 9787313006172 出版時(shí)間： 1989-03-01 包裝：
開本： 26cm 頁(yè)數(shù)： 236頁(yè) 字?jǐn)?shù)：  

內(nèi)容簡(jiǎn)介

　　本書以作為微電子器制造時(shí)的核心的抗蝕劑及其微細(xì)加工技術(shù)為對(duì)象，就其定義、沿革、工藝、反應(yīng)理論、配套技術(shù)、各類抗蝕劑、分析測(cè)試及應(yīng)用、展望等進(jìn)行了全面詳述。

作者簡(jiǎn)介

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