目 錄
前言
緒論
上篇 電子光學原理和系統(tǒng)
第一章 旋轉對稱靜電場和靜磁場
1.1旋轉對稱靜電場
一 旋轉對稱靜電場的級數(shù)表示法
二 旋轉對稱電場的近軸性質
三 旋轉對稱靜電場的力函數(shù)流函數(shù)
1.2旋轉對稱靜磁場
一 旋轉對稱磁場的矢量磁位
二 旋轉對稱磁場的級數(shù)表達式
三 旋轉對稱磁場的近軸性質
四 旋轉對稱磁場的標量磁位
第二章 靜電磁場中帶電粒子的運動
2.1電子及其運動的基本概念
一 電子的電荷和質量
二 羅侖茲力和電子運動方程式
三 能量關系式
2.2電子軌跡方程
一 直角坐標系中的軌跡方程
二 圓柱坐標系中的軌跡方程
2.3旋轉對稱電磁場中電子近軸軌跡方程
一 旋轉對稱電場中近軸軌跡方程
二 復合場中近軸軌跡方程
2.4旋轉對稱電磁場的聚焦成像性能
一 旋轉對稱電場的理想成像
二 復合場中的理想成像
2.5電子光學系統(tǒng)尺寸變換時的軌跡相似性
一 零初速、無磁場,九空間電荷
二 零初速、有磁場、無空間電荷
三 零初速、無磁場、有空間電荷
四 有初速、無磁場、無空間電荷
五 有初速、無磁場有空間電荷
附錄I 最小作用量原理和普遍情況下的電子光學折
射率
一 最小作用量原理
二 普遍情況下的電子光學折射率
附錄Ⅱ 光學方法推導電子軌、跡方程
附錄Ⅲ 相對論修正下的普遍軌跡方程
第三章 電子透鏡
3.1電子透鏡的參量及其基本關系式
一 電子透鏡的基點
二 朗斯基行列式
三 電子透鏡的成像關系式
3.2靜電透鏡的焦距和主平面位置
一 靜電透鏡的焦距公式
二 靜電透鏡的主平面
3.3 電子透鏡的矩陣表示
一 薄透鏡的矩陣表示和薄透鏡的組合
二 薄透鏡物像關系的矩陣計算
三 厚透鏡的矩陣表示
3.4 靜電透鏡的分類和性能分析
一 靜電透鏡的分類和特征
二 靜電透鏡的軸上電位和性能分析
3.5 磁透鏡
一 均勻磁場的聚焦作用 長磁通鏡
二 旋轉對稱磁場的透鏡作用
三 短磁透鏡
四 磁透鏡的場分布
五 鐘形磁場中的電子運動軌跡和電子光學參量
第四章 電子光學系統(tǒng)的像差
4.1幾何像差
一 幾何像差的一般數(shù)學表示
二 幾何像差的復數(shù)表示
4.2各種幾何像差的定義和相應的圖形
一 球差
二 彗形像差
三 像散、場曲和畸變
4.3球差系數(shù)C3的計算
4.4色差
一 像位色差
二 放大色差
三 轉角色差
四 色差系數(shù)Cc的計算
4.5空間電荷像差
4.6電場的非旋轉對稱性產生的像差
4.7電子的波性與衍射像差
一 惠更斯-菲涅爾原理
二 圓孔光闌的夫瑯和費衍射和成像系統(tǒng)的分辨
率
第五章 電子束的偏轉
5.1偏轉系統(tǒng)的一般要求
5.2靜電偏轉
一 平行板靜電偏轉系統(tǒng)
二 傾斜板靜電偏轉系統(tǒng)
三 多折板靜電偏轉系統(tǒng)
四 靜電偏轉板的對稱供電
五 靜電偏轉盒
5.3磁偏轉
一 均勻磁場的偏轉靈敏度
二 實用的偏轉線圈結構
5.4偏轉解聚
一 靜電偏轉的偏轉解聚
二 磁偏轉的偏轉解聚
第六章 非旋轉對稱電子光學系統(tǒng)
6.1柱面透鏡
6.2靜電四極場透鏡
一 靜電四極場的構成及其空間電位分布
二 靜電四極場中的電子運動軌跡
三 靜電四極透鏡的焦距
四 電子運動的相對論修正
五 靜電四極透鏡的應用
6.3 磁四極透鏡
一 磁四極透鏡的構成和空間磁場分布
二 磁四極透鏡中帶電粒子運動軌跡和焦距 主平面位置
三 帶電粒子運動的相對論修正
四 四極透鏡對和雙聚焦條件
五 周期四極透鏡
附錄I 轉換矩陣的判別式
第七章 電子槍
7.1細束電子槍的基本結構
7.2 細束電子槍的發(fā)射系統(tǒng)
一 發(fā)射系統(tǒng)中的電子運動和交疊點的形成
二 交疊點截面的大小
三 交疊點截面的電流密度分布
四 交疊點截面的位置
五 發(fā)射系統(tǒng)的特性參量
六 發(fā)射系統(tǒng)的替代法設計
七 四極式發(fā)射系統(tǒng)
7.3細束電子槍的主聚焦系統(tǒng)(主透鏡)
一 靜電聚焦電子槍
二 新型的靜電透鏡
三 磁聚焦電子槍 磁透鏡與靜電透鏡的比較
7.4電子槍發(fā)射系統(tǒng)與主聚焦系統(tǒng)的匹配
7.5細束電子槍的新型式
一 層流槍
二 低能槍
三 場發(fā)射槍
7.6強流電子槍
一 矩形截面平行電子注的皮爾斯電子槍
二 圓柱形平行電子注的皮爾斯電子槍
三 錐形電子注的皮爾斯電子槍
四 陽極孔的發(fā)散效應
第八章 電子光學的相空間理論
8.1相空間、系綜及劉維定理
一 相空間與系綜
二 劉維定理
三 相面積、發(fā)射度與接收度
8.2 電子光學系統(tǒng)中電子運動的相空間表示
一 線性力作用下的粒子運動的相圖
二 四極場透鏡中粒子束運動的相空間分析
三 旋轉對稱電子光學系統(tǒng)的相空間分析
8.3電子束傳輸?shù)南鄼E圓變換
一 相橢圓的矩陣方程
二 粒子束傳輸過程的橢圓變換
三 相橢圓系數(shù)矩陣σ的物理意義
四 束流的匹配傳輸
8.4相空間理論與傳統(tǒng)電子光學理論比較
第九章 電子光學傳遞函數(shù)和儡質評價
9.1傳遞函數(shù)的數(shù)理基礎
一 傅里葉級數(shù)
二 傅里葉變換
三 常見函數(shù)的傅里葉變換
四 傅里葉變換的若干性質
五 卷積
六 相關
9.2光學傳遞函數(shù)
一 基本概念
二 光學傳遞函數(shù)
三 光學傳遞函數(shù)與光瞳函數(shù)的關系
9.3電子光學傳遞函數(shù)與像質評價
一 電子光學傳遞函數(shù)與像質評價
二 電子光學調制傳遞函數(shù)(MTF)的測量
第十章 靜電電子能量分析器及其電子光學
10.1平板鏡式分析器
10.2柱形偏轉分析器
10.3球形偏轉分析器
10.4筒鏡分析器
一 帶電粒子的運動方程及軌跡
二 角度像差
三 筒鏡分析器的最佳工作參數(shù)
上篇參考文獻
下篇 電子光學系統(tǒng)的計算機輔助設計
第十一章 電磁場計算
11.1有限差分法
一 二維拉普拉斯方程和泊松方程的差分格式
二 差分方程求解——迭代法
三 空間電荷密度的計算
四 邊界處理
五 有限差分法計算磁場
11.2有限元法
一 有限元法的變分原理基礎
二 二維拉普拉斯方程有限元解法
三 二維泊松方程的有限元解法
四 磁場的有限元法計算
五 有限元法與有限差分法的比較
11.3邊界元法
一 加權余量表示式的建立
二 邊界元法的基本原理
三 邊界元方程的數(shù)值計算
四 邊界元法和有限元法計算框圖比較
11.4計算空間電荷場的非交替法
附錄I 電子光學中幾種常用的數(shù)學方法
一 求解線性代數(shù)方程組的高斯消去法
二 矩陣作一維表示的消去法
三 矩陣作一維表示的有限元法中的總體合成
第十二章 電子軌跡和電子光學參量的計算
12.1運動方程的數(shù)值計算
一 降階法
二 級數(shù)展開法
三 小步拋物線法
12.2軌跡方程的數(shù)值計算
一 龍格-庫塔法
二 紐莫洛夫公式
12.3電子光學參量的計算
一 電子透鏡主平面的確定和基點參量的計算
二 像差系數(shù)的計算
第十三章 電子光學系統(tǒng)的最優(yōu)化設計
13.1最優(yōu)化基本原理和方法
一 最優(yōu)化基本問題
二 最優(yōu)化問題的基本解法
13.2單純形法——無約束最優(yōu)化方法
13.3復合形法——有約束最優(yōu)化方法
一 復合形法迭代
二 檢驗調整能行點方法
13.4單純形法和復合形法計算實例與結果
13.5鮑威爾法
下篇參考文獻
基本物理常數(shù)