離子束技術(shù)及應(yīng)用

　　本書(shū)分六章：電子轟擊離子源等離子體特性及設(shè)計(jì)基礎(chǔ); 離子光學(xué)系統(tǒng)及基本設(shè)計(jì)方法; 離子源結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)優(yōu)化法; 離子源陰極的設(shè)計(jì)方法; 離子束刻蝕（IBE）工藝基礎(chǔ); IBE在器件制造中的應(yīng)用.

暫缺《離子束技術(shù)及應(yīng)用》作者簡(jiǎn)介