微系統(tǒng)設計：國外電子通信教材

定　價：￥59.00

作　者：	（美）Stephen D.Senturia著；劉澤文等譯；劉澤文譯
出版社：	電子工業(yè)出版社
叢編項：	國外電子與通信教材系列
標　簽：	數(shù)字電子技術

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ISBN：	9787121004223	出版時間：	2004-11-01	包裝：	膠版紙
開本：	26cm	頁數(shù)：	472	字數(shù)：

內容簡介

　　●本書將多學科的基礎知識有機聯(lián)系起來，帶領大家進入微系統(tǒng)設計世界。這些知識是工作在MEMS領域的工程師所必不可少的?！袢珪婕暗闹黝}范圍廣泛，包括：微加工技術、機械學、熱流理論、電子學、噪聲、帶反饋或不帶反饋的系統(tǒng)動力學等。因為很難簡要地闡明"優(yōu)良"設計的基本原理，本書以提供一組實例研究的方式進行組織。這些實例研究或者基千真實的產品，或者基于已發(fā)表在文獻中的產品原型。●實例研究的選擇范圍是那些具有多方面代表性的范例：不同的加工制作方法，不同的應用領域，在換能方式上運用不同的物理效應。實例研究的主要對象是下列器件的設計與封裝：壓阻式壓力傳感器、電容式加速度計、利用石英壓電驅動與感測的陀螺儀、兩種靜電致動光投影顯示器、兩種DNA擴增微系統(tǒng)以及一種用于可燃氣體測量的催化傳感器?！癖緯锹槭±砉W院研究生課程-微機電系統(tǒng)設計與制作"的教材，適合高年級本科生和研究生學習MEMS使用，也可作為MEMS專業(yè)人士的參考書?！衩恳徽露己屑彝プ鳂I(yè)和相關閱讀文獻作為教材的補充。本書還有一個專門的Web網(wǎng)站對其提供支持，其上放有更多的家庭作業(yè)、練習和一些推薦的設計習題，以及一些有關本書例題、家庭作業(yè)習題方面的教學資料。本書是美國麻省理工學院（MIT）Senturia教授根據(jù)自己在MIT電子工程系所講授的課程的基礎上進行擴展而編寫的研究生教材，已經(jīng)被美國10多所大學采用（包括斯坦福等著名大學）。本書系統(tǒng)全面地介紹了涉及微機電系統(tǒng)（MEMS）設計的方法、理論和技術，包括MEMS制作工藝和封裝技術、MEMS器件的建模和模擬、相關電子線路與系統(tǒng)。全書詳細地介紹了利用集總參數(shù)方法、彈性力學和結構力學方法、能量分析法對MEMS器件進行建模、模擬和分析的方法；同時對微系統(tǒng)設計所涉及的能量耗散問題和流體力學系統(tǒng)、電路、噪聲和封裝問題等進行了分析和介紹。通過應用實例研究，詳細介紹了壓阻式壓力傳感器、電容式加速度計、靜電投影顯示器、壓電速率陀螺儀、DNA擴增芯片和氣體傳感器等器件和系統(tǒng)的設計和制作。全書結構新穎、特點鮮明、內容豐富，能滿足來自不同專業(yè)面向MEMS研究領域的研究生的需要。同時，對于相關領域的科研、工程技術人員和教師來說，也不失為一本很有價值的參考書。

作者簡介

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圖書目錄

第一部分  基礎知識
第1章  引言
1. 1  微系統(tǒng)和MEMS
1. 2  微系統(tǒng)和MEMS的市場前景
1. 3  實例研究
1. 4  后續(xù)內容
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習題
第2章  MEMS設計方法
2. 1  引言
2. 2  建模層級
2. 3  實例：一個定位控制系統(tǒng)
2. 4  后續(xù)內容
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習題
第3章  微制造技術
3. 1  引言
3. 2  圓片級工藝
3. 3  圖形轉移
3. 4  小結
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習題
第4章  工藝集成
4. 1  開發(fā)一項工藝
4. 2  藝設計的基本原則
4. 3  藝流程舉例
4. 4  后續(xù)內容
習題
第二部分  建模策略
第5章  集總參數(shù)建模
5. 1  引言
5. 2  共軛功率變量
5. 3  單端口元件
5. 4  e→V約定中的電路連接
5. 5  動態(tài)方程的公式表達
5. 6  變壓器和回相器
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習題
第6章  能量守恒換能器
6. 1  引言
6. 2  平行板電容
6. 3  端口電容
6. 4  靜電執(zhí)行器
6. 5  磁執(zhí)行器
6. 6  線性換能器等效電路
6. 7  定位控制系統(tǒng)回顧
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習題
第7章  動力學
7. 1  引言
7. 2  線性系統(tǒng)動力學
7. 3  非線性系統(tǒng)動力學
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習題
第三部分  特定領域的細節(jié)
第8章  彈性力學
8. 1  引言
8. 2  線性彈性系統(tǒng)的本構方程
8. 3  熱膨脹和薄膜應力
8. 4  部分材料的機械特性數(shù)據(jù)
8. 5  大應變下的材料特性
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習題
第9章  結構
9. 1  引言
9. 2  軸向負載梁
9. 3  梁的彎曲
9. 4  抗彈性扭曲
9. 5  平板的變曲
9. 6  殘余應力和應力梯度
9. 7  帶有平面應力的平板
9. 8  大變形的情況
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習題
第10章  能量法
10. 1  彈性能
10. 2  虛功原理
10. 3  變分法
10. 4  彈性結構的大形變
10. 5  瑞利-里茲方法
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習題
第11章  耗散系統(tǒng)和熱能域
11. 1  耗散的普遍性
11. 2  電阻
11. 3  電容的充電
11. 4  耗散過程
11. 5  熱能域
11. 6  電阻的自加熱
11. 7  其他耗散機理
11. 8  不可逆熱動力學：耦合流動
11. 9  時變耗散系統(tǒng)的建模
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習題
第12章  集總建模和耗散過程
12. 1  引言
12. 2  熱傳導方程的推廣
12. 3  直流穩(wěn)態(tài)：泊松方程
12. 4  泊松方程的有限差分解
12. 5  泊松方程的本征解
12. 6  瞬態(tài)響應：有限差分法
12. 7  瞬態(tài)響應：本征函數(shù)法
12. 8  一維應用舉例
12. 9  單模等效電路
12. 10  多模等效電路
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習題
第13章  流體
13. 1  引言
13. 2  流體的基本概念
13. 3  不可壓縮層流
13. 4  擠壓膜的阻尼
13. 5  電解質與電動勢效應
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習題
第14章  電子學
14. 1  引言
14. 2  半導體物理基礎
14. 3  半導體二極管
14. 4  擴散電阻
14. 5  光電二極管
14. 6  極結型晶體管
14. 7  金屬氧化物半導體場效應晶體管
14. 8  MOSFET放大器
14. 9  運算放大器
14. 10  動態(tài)效應
14. 11  運算放大器基本電路
14. 12  電荷測量電路
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習題
第15章  反饋系統(tǒng)
15. 1  引言
15. 2  反饋基本概念
15. 3  線性系統(tǒng)中的反饋
15. 4  非線性系統(tǒng)中的反饋
15. 5  皆振器和振蕩器
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習題
第16章  噪聲
16. 1  引言
16. 2  干擾問題
16. 3  信號特性
16. 4  隨機噪聲的特性
16. 5  噪聲源
16. 6  示例：電阻溫度計
16. 7  漂移
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習題
第17章  封裝
17. 1  引言
17. 2  封裝. 測試和校準
17. 3  封裝方法
17. 4  一個商業(yè)化壓力傳感器實例
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習題
第18章  壓阻式壓力傳感器
18. 1  感測壓力
18. 2  壓阻
18. 3  摩托羅拉多MAP壓力傳感器
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習題
第19章  電容式加速度計
19. 1  引言
19. 2  準靜態(tài)加速度計基礎
19. 3  利用電容的位置測量
19. 4  電容式加速度計實例研究
19. 5  利用針尖隧道電流的位置測量
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習題
第20章  靜電投影顯示器
20. 1  引言
20. 2  DMD器件的電機械學
20. 3  靜電驅動梁的機電性
20. 4  光柵光閾顯示
20. 5  一個對比
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習題
第21章  壓電速率陀螺儀
21. 1  引言
21. 2  轉動運動力學
21. 3  柯里奧利速率陀螺
21. 4  壓電性
21. 5  石英速率陀螺實例
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習題
第22章  用于DNA擴增的微系統(tǒng)
22. 1  引言
22. 2  聚合酶鏈式反應
22. 3  PCR的微系統(tǒng)實現(xiàn)方法
22. 4  批量反應器的熱學模型
22. 5  連續(xù)流體反應器的熱學模型
22. 6  一個對比
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習題
第23章  微橋氣體傳感器
23. 1  引言
23. 2  系統(tǒng)級設計問題
23. 3  一級近似器件和系統(tǒng)模型
23. 4  實際器件及其制作工藝
23. 5  傳感器性能
23. 6  高級模型
23. 7  結束語
相關閱讀材料
習題
附錄A  參數(shù)符號表
附錄B  電磁場
附錄C  立方材料的彈性常數(shù)
參考文獻