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微電子與光電子集成技術(shù)

微電子與光電子集成技術(shù)

定 價:¥48.00

作 者: 陳弘達
出版社: 電子工業(yè)出版社
叢編項: “十一五”國家重點圖書出版規(guī)劃項目
標 簽: 電子電路與微處理器

ISBN: 9787121051500 出版時間: 2008-01-01 包裝: 平裝
開本: 16 頁數(shù): 303 pages 字數(shù):  

內(nèi)容簡介

  微電子技術(shù)與光電子技術(shù)緊密結(jié)合,相互滲透,必將推進信息技術(shù)及相關(guān)的高新技術(shù)進入新的發(fā)展階段。本書共分為9章,從技術(shù)基礎(chǔ)和實際應用的角度出發(fā),著重對微電子與光電子集成技術(shù)相關(guān)的工藝基礎(chǔ)、基本原理和關(guān)鍵集成技術(shù)進行了詳細闡述,主要內(nèi)容包括光發(fā)射器件、光電探測器、光波導器件、光電子專用集成電路、硅基光電子集成回路、甚短距離光傳輸技術(shù)以及微電子與光電子混合集成技術(shù)等。微電子與光電子集成技術(shù)的實用化進程,必將為21世紀科學技術(shù)的發(fā)展作出重大貢獻。然而,微電子與光電子集成技術(shù)是信息技術(shù)發(fā)展的一個嶄新方向,雖然各項關(guān)鍵技術(shù)的發(fā)展取得了一定的進步,但還存在諸多難題需要進一步解決和完善。本書主要為從事集成光電子和光通信等相關(guān)技術(shù)研究的科研人員提供參考。

作者簡介

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圖書目錄

第1章 概述
 1.1 微電子技術(shù)簡介
  1.1.1 雙極型微電子技術(shù)簡介
  1.1.2 MOS微電子技術(shù)簡介
  1.1.3 Bi-CMOS微電子技術(shù)簡介
  1.1.4 SOI微電子技術(shù)簡介
 1.2 光電子技術(shù)簡介
  1.2.1 光發(fā)射器件簡介
  1.2.2 光接收器件簡介
  1.2.3 光波導器件簡介
  1.2.4 太陽能電池
  1.2.5 電子圖像顯示器件
 1.3 工藝與制備
  1.3.1 MBE工藝
  1.3.2 MOCVD工藝
  1.3.3 氧化
  1.3.4 化學氣相沉積(CVD)
  1.3.5 刻蝕
  1.3.6 光學光刻
  1.3.7 離子注入
  1.3.8 金屬化
 1.4 微電子與光電子集成技術(shù)簡介
 參考文獻
第2章 光發(fā)射器件及集成技術(shù)
 2.1 光發(fā)射器件理論基礎(chǔ)
  2.1.1 晶體結(jié)構(gòu)
  2.1.2 能帶結(jié)構(gòu)
  2.1.3 雜質(zhì)能級
  2.1.4 半導體發(fā)光基礎(chǔ)理論
 2.2 光發(fā)射二極管
  2.2.1 概述
  2.2.2 半導體光發(fā)射二極管的基本結(jié)構(gòu)
  2.2.3 發(fā)光二極管性質(zhì)
  2.2.4 硅基光發(fā)射二極管
 2.3 半導體激光器
  2.3.1 半導體激光器分類
  2.3.2 異質(zhì)結(jié)激光器
  2.3.3 分布反饋激光器(DFB-LD)
  2.3.4 量子阱激光器
  2.3.5 硅基半導體激光器
 2.4 垂直腔面發(fā)射激光器(VCSEL)
  2.4.1 VCSEL的理論分析
  2.4.2 VCSEL的總體結(jié)構(gòu)設(shè)計
  2.4.3 VCSEL中反射鏡的設(shè)計
  2.4.4 VCSEL光腔的設(shè)計
  2.4.5 幾種典型的VCSEL結(jié)構(gòu)及其制作工藝
 參考文獻
第3章 光接收器件及集成技術(shù)
 3.1 光電探測器理論基礎(chǔ)
  3.1.1 半導體中的光吸收
  3.1.2 光生載流子
 3.2 光電探測器性能參數(shù)
  3.2.1 量子效率和響應度
  3.2.2 頻率響應
  3.2.3 噪聲和探測度
 3.3 基于Ⅲ-Ⅴ族半導體材料的光電探測器
  3.3.1 PIN型光電探測器
  3.3.2 APD光電探測器
  3.3.3 MSM光電探測器
  3.3.4 GaN基紫外光電探測器
 3.4 基于硅基雙極型工藝的光電探測器
  3.4.1 與標準雙極工藝兼容的集成光電探測器
  3.4.2 修改雙極工藝條件下的集成光電探測器
 3.5 基于硅基CMOS工藝的集成光電探測器
  3.5.1 基于標準CMOS工藝的集成光電探測器
  3.5.2 定制CMOS工藝下的PIN光電探測器
  3.5.3 BiCMOS工藝下集成光電探測器
 3.6 鍺硅光電探測器
 3.7 光電探測器陣列
 參考文獻
第4章 光波導器件及集成技術(shù)
 4.1 光傳輸?shù)睦碚摳攀?br />  4.1.1 線光學理論
  4.1.2 電磁場理論基礎(chǔ)
 4.2 光波導基本結(jié)構(gòu)
 4.3 SOI光波導
  4.3.1 SOI光波導結(jié)構(gòu)
  4.3.2 光波導的折射率及損耗系數(shù)
  4.3.3 硅光波導中損耗的分類
  4.3.4 硅中的光調(diào)制機制
 4.4 光波導器件制作技術(shù)
  4.4.1 SOI基片的制備
  4.4.2 SOI波導工藝特點簡介
 4.5 硅基電光調(diào)制器件簡介
  4.5.1 硅基電光調(diào)制器分類
  4.5.2 光相位調(diào)制器
 參考文獻
第5章 光電子專用集成電路
第6章 硅基光電子集成回路
第7章 甚短距離光傳輸模塊及相關(guān)技術(shù)
第8章 微電子與光電子混合集成技術(shù)
第9章 微電子與光電子集成技術(shù)展望
附錄A 縮略語

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