精密運動控制：設計與實現

譯叢序言
譯者序
前言
第1章 引言
1.1 需要精密控制的領域
1.1.1 精密工程
1.1.2 微制造
1.1.3 生物技術
1.1.4 納米技術
1.2 精密機械和工具
1.3 精密運動控制系統(tǒng)的應用
1.4 本書的范圍
第2章 精密跟蹤運動控制
2.1 壓電驅動器
2.1.1 壓電驅動器配置的類型
2.1.2 數學模型
2.1.3 自適應控制
2.2 永磁直線電動機（PMLM）
2.2.1 PMLM的類型
2.2.2 數學模型
2.2.3 力的波動
2.2.4 摩擦
2.2.5 復合控制
2.2.6 加速度控制增強
2.2.7 波動補償
2.2.8 干擾觀測及消除
2.2.9 魯棒自適應控制
2.2.1 0迭代學習控制
第3章 控制參數的自整定
3.1 繼電器自整定
3.1.1 延時繼電器
3.1.2 雙通道繼電器整定
3.2 摩擦建模使用繼電器反饋
3.2.1 摩擦辨識方法
3.2.2 模擬
3.2.3 自適應控制的初始化
3.3 繼電器振蕩的最優(yōu)特征提取
3.4 試驗
第4章 龍門系統(tǒng)的協(xié)調運動控制
4.1 協(xié)調控制方案
4.1.1 經典主/從方法
4.1.2 設定點協(xié)調控制
4.1.3 整體協(xié)調控制
4.2 仿真研究
4.2.1 控制任務
4.2.2 結果
4.3 試驗
4.3.1 XY工作臺——配置Ⅰ
4.3.2 XY圖表——配置Ⅱ
4.4 自適應協(xié)調控制方案
4.4.1 龍門臺的動態(tài)建模
4.4.2 基于模型的自適應控制設計
4.4.3 穩(wěn)定性分析
4.4.4 軟件仿真
4.4.5 實施結果
第5章 幾何誤差補償
5.1 激光測量系統(tǒng)概述
5.2 激光測量系統(tǒng)的組件
5.2.1 激光頭
5.2.2 干涉儀和反射器
5.2.3 測量接收機
5.2.4 測量與控制電子電路
5.3 激光校準概述
5.3.1 線性測量
5.3.2 角度測量
5.3.3 直線度測量
5.3.4 垂直測量
5.4 使用水平敏感設備的滾動測量
5.5 精度評估
5.6 影響測量精度的因素
5.6.1 線性測量誤差
5.6.2 角測量誤差
5.6.3 直線度測量誤差
5.6.4 環(huán)境條件
5.7 總體誤差模型
5.8 幾何誤差的查表
5.9 幾何誤差的參數化模型
5.9.1 徑向基函數與誤差建模
5.9.2 參數誤差逼近
5.9.3 試驗
5.9.4 使用多層神經網絡誤差建模
5.1 0隨機誤差的機械補償
5.1 0.1 概率方法
5.1 0.2 試驗
第6章 電子插值誤差
6.1 海德曼插值法
6.1.1 插值界
6.1.2 校準和補償
6.2 增強插值法
6.2.1 增強插值法的原理
6.2.2 構建一個查表
6.2.3 試驗
6.3 插值的參數模型
6.3.1 插值方法的原理
6.3.2 預補償階段
6.3.3 插值階段
6.3.4 試驗研究
第7章 振動監(jiān)測與控制
7.1 機械設計中盡量減少振動
7.1.1 機械結構的穩(wěn)定性和靜定性
7.1.2 二維結構
7.1.3 三維結構
7.2 自適應陷波器
7.2.1 快速傅里葉變換
7.2.2 模擬
7.2.3 試驗
7.3 實時振動分析儀
7.3.1 學習模式
7.3.2 監(jiān)測模式
7.3.3 診斷模式
7.3.4 試驗
7.3.5 遠程監(jiān)控
7.3.6 實現
第8章 其他工程方面
8.1 規(guī)格
8.2 選擇電動機和驅動器
8.3 選擇光學編碼器
8.4 控制平臺
8.4.1 硬件結構
8.4.2 軟件開發(fā)平臺
8.4.3 用戶界面
8.5 精度測量
8.6 數字通信協(xié)議
8.6.1 現場總線協(xié)議棧
8.6.2 常見的現場總線
附錄激光校準光學儀器、附件和配置
參考文獻