TiO2納米層殼結構薄膜氧傳感器

定　價：￥16.00

作　者：	張輝軍著
出版社：	黑龍江大學出版社
叢編項：
標　簽：	工業(yè)技術自動化技術

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ISBN：	9787811296235	出版時間：	2013-11-01	包裝：	平裝
開本：	32開	頁數(shù)：	137	字數(shù)：

內(nèi)容簡介

　　《TiO2納米層殼結構薄膜氧傳感器》采用納米TiO2球殼薄膜作為敏感薄膜利用Si/TiO2異質(zhì)結構的優(yōu)良電學特性設計pn結襯底電極TiO2氧傳感器。制備完成的TiO2納米球殼直徑在250nm左右，結構完整。能夠滿足提高被測氣體的表面吸附，獲得優(yōu)良的氣體靈敏度的結構特點?！禩iO2納米層殼結構薄膜氧傳感器》討論了采用MEMS技術和CMOS工藝相結合制作的Ti02納米層殼結構薄膜氧傳感器，該傳感器可利用異質(zhì)結構電傳輸及納米球殼的納米效應實現(xiàn)O2檢測。

作者簡介

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圖書目錄

第1章氣體傳感器研究概述
1.1 半導體氣體傳感器簡介
1.2 寬禁帶TiO2納米半導體材料
1.3 國內(nèi)外TiO2氣體傳感器的研究進展
1.4 研究的目的及意義
第2章薄膜特性分析與Si／TiO2異質(zhì)結構的能帶
2.1 TiO2的晶格結構
2.2 氧傳感器的薄膜敏感原理
2.3 薄膜表面空間電場、有效空間電荷層厚度dx的相關計算（一維近似）
2.4 Si和TiO2中載流子統(tǒng)計分布情況及能帶結構
2.5 Si／TiO2異質(zhì)結構的能帶圖
第3章 TiO2納米層殼結構薄膜氧傳感器結構設計及傳輸機制
3.1 氧傳感器的基本結構
3.2 TiO2納米層殼結構薄膜氧傳感器制作工藝
3.3 寬禁帶半導體氣體傳感器電流傳輸特性與機制
3.4 TiO2納米層殼結構薄膜氧傳感器電流傳輸特性與機制
第4章 TiO2納米層殼結構薄膜的制備
4.1 W-TiO2薄膜的制備與分析
4.2 Pt-TiO2薄膜的制備與分析
4.3 TiO2納米球殼的制備與分析
4.4 TiO2納米層殼結構薄膜的TEM與sEM分析
第5章氧傳感器性能的測定與分析
5.1 工作溫度對基準電流的影響
5.2 環(huán)境濕度對基準電流的影響
5.3 輸出曲線的測量
5.4 選擇性
5.5 響應一恢復時間
參考文獻
后記