MEMS與微系統(tǒng)：設(shè)計(jì)、制造及納尺度工程（第二版）

　　作者在本書中首先對(duì)納米技術(shù)的發(fā)展歷史做了一個(gè)簡(jiǎn)要的回顧，然后對(duì)各種納米結(jié)構(gòu)在工程設(shè)計(jì)方面的基本原理做了詳細(xì)的介紹，包括形成納米結(jié)構(gòu)的制造技術(shù)、基于分子動(dòng)力學(xué)的工程設(shè)計(jì)原理以及納尺度材料中的流體流動(dòng)與熱傳導(dǎo)特性等。

　　許軍，男，研究員，清華大學(xué)微電子學(xué)研究所所長(zhǎng)。1963年6月生于安徽合肥，1986年畢業(yè)于清華大學(xué)無線電電子學(xué)系半導(dǎo)體器件與物理專業(yè)，獲工學(xué)學(xué)士學(xué)位，后分別于1989年和1994年在航天工業(yè)部771研究所計(jì)算機(jī)器件與設(shè)備專業(yè)獲工學(xué)碩士學(xué)位和工學(xué)博士學(xué)位，1994年至1996年在清華大學(xué)微電子學(xué)研究所電子學(xué)與通信博士后科研流動(dòng)站從事超大規(guī)模集成電路工藝技術(shù)的基礎(chǔ)研究工作，1997年在清華大學(xué)微電子學(xué)研究所晉升為副研究員，1997至1999年在美國(guó)新奧爾良大學(xué)先進(jìn)材料研究所固體器件研究組做訪問學(xué)者，1999年回國(guó)后繼續(xù)在清華大學(xué)微電子學(xué)研究所集成電路開發(fā)與工業(yè)性試驗(yàn)線工作，2002年晉升為研究員。 徐泰然（Tai-Ran Hsu）教授主要從事微機(jī)電系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、制造和封裝技術(shù)的教學(xué)與科研工作，在MEMS系統(tǒng)和納米系統(tǒng)的熱力學(xué)及有限元和CAD技術(shù)方面的研究取得了具有國(guó)際影響的學(xué)術(shù)成績(jī)，先后出版了《MEMS 封裝技術(shù)》、《MEMS與微系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和制造》5本專著，編著2本著作。在“Advances in Electronic Packaging”、“Semiconductor International”和“Sensors and Actuators”等學(xué)術(shù)刊物上發(fā)表了學(xué)術(shù)論文120多篇，并多次被邀請(qǐng)?jiān)谖⒓{米技術(shù)和微機(jī)電技術(shù)國(guó)際會(huì)議上作大會(huì)報(bào)告，在國(guó)際微納米技術(shù)領(lǐng)域享有很高的學(xué)術(shù)聲譽(yù)。特別是在MEMS技術(shù)的教育方面做出了很大的貢獻(xiàn)。