前言
第1章光學鏡頭優(yōu)化設計概述 l
1.1 引言 1
1.2光學鏡頭設計中常用優(yōu)化方法的
數學原理 2
1.2.1適應法 3
1.2.2阻尼最小二乘法 4
1.2.3 阻尼兇子p、權重兇子似和
評價函數擊 4
1.2.4邊界條件 5
第2章簡單鏡頭設計實例 7
2.1 HeNe激光光束聚焦物鏡設計 7
2.1.1 鏡頭片數及玻璃選擇的考慮和
初步分析 7
2.1.2 以“正前凸”型為基礎的高折
射率雙片鏡頭的優(yōu)化設計 1 1
2.1.3 以“負前凸”型為基礎的高折
射率雙片鏡頭的優(yōu)化設計 22
2.1.4 以“負前凹”型為基礎的高折
射率雙片鏡頭的優(yōu)化設計 28
2.2激光掃描物鏡設計 37
2. 2.1 白行構造評價函數優(yōu)化設計激
光掃揣物鏡 一39
2.2.2 利用ZEMAX程序提供的默認評
價函數優(yōu)化設計激光掃描
物鏡 46
2.3 5。顯微物鏡設計 52
2.3.1 依據初級像差理論求解初始
結構 53
2.3.2 5“顯微物鏡的優(yōu)化設計例1 55
2.3.3 5“顯微物鏡的優(yōu)化設計例2 59
第3章 三片鏡頭設計實例 65
3.1 三片攝影物鏡的優(yōu)化設計 65
3. 1. 1
3. 1. 2
3. 1. 3
Pvic,hard DilLeon三片攝影物
鏡的初始解 65
Richard Ditteon三片攝影物
鏡的優(yōu)化設計例1 69
Richard Ditteon i片攝影物
鏡的優(yōu)化設計例2 95
3.2三片數碼相機物鏡的優(yōu)化設計 112
3.3大孔徑望遠物鏡優(yōu)化設計例1 ·130
3.4大孔徑望遠物鏡優(yōu)化設計例2 140
3.5 i片低折射率激光聚焦物鏡的
優(yōu)化設計 145
3.6測距儀接收系統(tǒng)的優(yōu)化設計.. .151
第4章 中等復雜鏡頭設計
實例 156
4.1 中倍李斯特顯微物鏡優(yōu)化設計
例1 156
4.1.1用改進了的配合法設計李斯特
顯微物鏡 157
4.1.2優(yōu)化?!篎李斯特物鏡的像散
例1 167
4.1.3優(yōu)化校正李斯特物鏡的像散
例2 176
4.2 巾倍李斯特顯微物鏡優(yōu)化設計
例2 197
4.3 四片放映物鏡優(yōu)化設計例1 208
4.4四片放映物鏡優(yōu)化設計例2 222
4.5雙高斯物鏡優(yōu)化設計例l 243
4.6雙高斯物鏡優(yōu)化設計例2 257
4.7雙高斯物鏡優(yōu)化設計例3 265
第5章 非球面鏡頭設計實例 278
5.1 引言 278
5.2非球面激光光束聚焦物鏡優(yōu)化
設計 280
5.3孔徑角大于620、后工作距大于LLmm
的非球面聚光鏡優(yōu)化設計 284
5.4非球面光電轉換耦合鏡頭優(yōu)化
設計 294
5.5 總長短的非球面廣角物鏡優(yōu)化
設計 301
第6章 復雜鏡頭設計實例 326
6.1 紫外投影光刻物鏡的光路分析、消像
差方案及初始基型選擇 326
6.2 紫外投影光刻物鏡后半部g。的優(yōu)化
設計 329
6.3 紫外投影光刻物鏡前半部g。的優(yōu)化
設計 337
6.4紫外投影光刻物鏡的優(yōu)化設計 340
6.5優(yōu)化改進參考文獻[17]中的光刻
物鏡范例 354
附錄 361
附錄A初級像差系數 361
附錄B平行平板的初級像差系數 362
附錄C 薄透鏡初級像差系數的PW
表示式 363
附錄D雙膠薄透鏡的求解步驟 364
參考文獻 366