NEMS傳感器的研制與應用

定　價：￥28.00

作　者：	譚苗苗
出版社：	冶金工業(yè)出版社
叢編項：
標　簽：	暫缺

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ISBN：	9787502474423	出版時間：	2017-01-01	包裝：
開本：	16開	頁數：		字數：

內容簡介

　　《NEMS傳感器的研制與應用》概述了NEMS傳感器的結構類型、加工工藝類型和常用的測試方案，并對目前國內外NEMS傳感器研究取得的研究成果和發(fā)展現狀進行了總結分析：針對NEMS傳感器比較常見的場效應晶體管結構，詳細闡述了兩種不同的一維納米結構組裝NEMS器件的工藝方法，以及器件電路結構加工工藝等；并將硅納米線場效應晶體管結構的傳感器應用于空氣生物氣溶膠的在線檢測；對NEMS傳感器未來的發(fā)展方向進行了展望?！禢EMS傳感器的研制與應用》可供相關科研單位技術人員和大專院校相關專業(yè)師生參考。