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納米科學(xué)技術(shù)及應(yīng)用

納米科學(xué)技術(shù)及應(yīng)用

定 價(jià):¥168.00

作 者: 袁哲俊,楊立軍 著
出版社: 哈爾濱工業(yè)大學(xué)出版社
叢編項(xiàng): 國(guó)之重器出版工程
標(biāo) 簽: 暫缺

ISBN: 9787560383606 出版時(shí)間: 2019-09-01 包裝: 平裝
開本: 16開 頁(yè)數(shù): 549 字?jǐn)?shù):  

內(nèi)容簡(jiǎn)介

  納米科學(xué)技術(shù)是近年來飛躍發(fā)展的一門新興科學(xué),本書全面系統(tǒng)地闡述了納米科學(xué)技術(shù)及應(yīng)用,主要內(nèi)容包括:掃描探針式顯微鏡;納米材料;納米級(jí)精密測(cè)量技術(shù);納米級(jí)超精密加工;納米級(jí)表層物理力學(xué)性能檢測(cè)和納米摩擦學(xué);納米電子學(xué);微機(jī)械和微機(jī)電系統(tǒng)及其制造技術(shù)。本書內(nèi)容豐富,不僅系統(tǒng)地講述了納米科學(xué)技術(shù)的基礎(chǔ)原理和技術(shù),同時(shí)還介紹了納米科技的*新發(fā)展和成就。本書可作為相關(guān)專業(yè)科研人員的重要參考書,也可作為機(jī)械類專業(yè)研究生和本科生的教材。

作者簡(jiǎn)介

  袁哲俊 1926年生,江蘇寶山(今屬上海市)人。哈爾濱工業(yè)大學(xué)教授,機(jī)械制造學(xué)科首批博士生導(dǎo)師,哈爾濱工業(yè)大學(xué)機(jī)械制造學(xué)科的創(chuàng)始人之一,國(guó)務(wù)院學(xué)位委員會(huì)第二屆學(xué)科評(píng)議組成員。曾被評(píng)選為哈爾濱市第一屆人民代表大會(huì)代表;全國(guó)先進(jìn)工作者,并出席全國(guó)先進(jìn)工作者代表大會(huì);航天部有突出貢獻(xiàn)專家。1948年畢業(yè)于交通大學(xué)機(jī)械系,1952年畢業(yè)于哈爾濱工業(yè)大學(xué)研究生班。曾任機(jī)械工業(yè)部工具研究所副所長(zhǎng),全國(guó)機(jī)械制造專業(yè)教學(xué)指導(dǎo)委員會(huì)副主任兼切削組組長(zhǎng),全國(guó)高校切削與先進(jìn)制造技術(shù)研究會(huì)理事長(zhǎng)等。我國(guó)著名的刀具專家,長(zhǎng)期致力于金屬切削、刀具、精密加工方面的教學(xué)和研究工作,在刀具和超精密加工領(lǐng)域具有很深厚的學(xué)術(shù)造詣。從教50多年來,承擔(dān)并完成了大量的教學(xué)和科研工作,取得了豐碩的成果:正式出版教材、學(xué)術(shù)著作、手冊(cè)等15部;發(fā)表學(xué)術(shù)論文600余篇;完成多項(xiàng)科研課題,其中獲國(guó)家科技進(jìn)步獎(jiǎng)三等獎(jiǎng)1項(xiàng),省部級(jí)科技進(jìn)步獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)2項(xiàng),省部級(jí)科技進(jìn)步獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)4項(xiàng),省部級(jí)三等獎(jiǎng)和其他科技獎(jiǎng)項(xiàng)12項(xiàng);培養(yǎng)博士生56人,碩士生50人,博士后5人。 楊立軍,1972年生,遼寧建平人。哈爾濱工業(yè)大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院教授,博士生導(dǎo)師。中國(guó)宇航學(xué)會(huì)光電技術(shù)委員會(huì)委員、中國(guó)微米納米技術(shù)學(xué)會(huì)高級(jí)會(huì)員、中國(guó)微米納米技術(shù)學(xué)會(huì)微納機(jī)器人分會(huì)理事,國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目負(fù)責(zé)人,教育部學(xué)位中心論文評(píng)閱人。主要從事微納制造、激光制造、機(jī)械制造及光機(jī)電一體化裝備的研究工作,先后主持承擔(dān)國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目、863計(jì)劃項(xiàng)目、國(guó)防基礎(chǔ)科研項(xiàng)目、國(guó)家數(shù)控重大專項(xiàng)項(xiàng)目及一批省部級(jí)重點(diǎn)項(xiàng)目和國(guó)際合作項(xiàng)目,獲省部級(jí)二等獎(jiǎng)4項(xiàng),發(fā)表SCI、EI檢索的學(xué)術(shù)論文60余篇,出版專著和教材5部,獲授權(quán)發(fā)明專利12項(xiàng)。

圖書目錄

第 1章 納米科學(xué)技術(shù)概述 1
1.1 納米科學(xué)技術(shù)的特點(diǎn) 2
1.2 納米科學(xué)技術(shù)的發(fā)展 2
1.3 發(fā)展納米科學(xué)技術(shù)的理論基礎(chǔ) 7
1.4 發(fā)展納米科技的重要性和各國(guó)納米科技的發(fā)展情況 12
復(fù)習(xí)思考題 26
參考文獻(xiàn) 26
第 2章 探針式顯微鏡 28
2.1 探針式顯微鏡發(fā)明前微觀表面形貌檢測(cè)技術(shù)的發(fā)展 29
2.2 掃描隧道顯微鏡 37
2.3 原子力顯微鏡 57
2.4 其他掃描探針顯微鏡 82
2.5 光子掃描隧道顯微鏡和近場(chǎng)光學(xué)掃描顯微鏡 84
復(fù)習(xí)思考題 87
參考文獻(xiàn) 87
第3章 納米材料 90
3.1 納米材料的發(fā)展與納米材料定義 91
3.2 納米顆粒(微粉)材料 93
3.3 納米微粒材料(零維納米材料)的制造技術(shù) 106
3.4 納米薄膜材料 118
3.5 納米塊體材料 123
3.6 原子團(tuán)簇 131
3.7 碳納米管 137
3.8 納米復(fù)合材料 161
復(fù)習(xí)思考題 167
參考文獻(xiàn) 167
第4章 納米級(jí)精密測(cè)量技術(shù) 169
4.1 納米級(jí)的尺寸精度和位移的測(cè)量方法 170
4.2 納米級(jí)精度的多維尺寸測(cè)量 175
4.3 納米級(jí)表面形貌和粗糙度的測(cè)量 177
4.4 超精密測(cè)量的環(huán)境條件 182
4.5 提高三維測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量精度需注意的問題 186
復(fù)習(xí)思考題 190
參考文獻(xiàn) 190
第5章 納米級(jí)超精密加工和原子操縱技術(shù) 191
5.1 納米級(jí)加工的物理實(shí)質(zhì)和特點(diǎn) 192
5.2 超精密機(jī)械加工技術(shù) 194
5.3 納米切削的分子動(dòng)力學(xué)模擬 199
5.4 三束加工技術(shù) 203
5.5 原子與近原子尺度制造 212
5.6 碳納米管互連技術(shù) 228
5.7 原子操縱技術(shù)的發(fā)展和操縱機(jī)理的探析 238
復(fù)習(xí)思考題 240
參考文獻(xiàn) 241
第6章 納米級(jí)表層物理力學(xué)性能檢測(cè)和納米摩擦學(xué) 244
6.1 納米級(jí)表層物理力學(xué)性能的顯微力學(xué)探針檢測(cè)法 245
6.2 材料極薄表層物理力學(xué)性能的實(shí)際檢測(cè) 251
6.3 納米摩擦學(xué)的提出 259
6.4 納米摩擦學(xué)研究使用的實(shí)驗(yàn)測(cè)試儀器 261
6.5 納米級(jí)摩擦副材料和摩擦表面形態(tài) 267
6.6 邊界潤(rùn)滑與分子膜 272
6.7 薄膜潤(rùn)滑 283
6.8 平滑界面的微摩擦形態(tài) 291
6.9 納米摩擦學(xué)的分子動(dòng)力學(xué)模擬 303
復(fù)習(xí)思考題 305
參考文獻(xiàn) 305
第7章 納米電子學(xué) 307
7.1 概述 308
7.2 從微電子技術(shù)到納米電子技術(shù)的發(fā)展 309
7.3 量子電子器件的主要特征 316
7.4 量子電系統(tǒng)的基礎(chǔ)元件 322
7.5 納米級(jí)單電子晶體管 324
7.6 分子電子學(xué)和分子電子器件 330
7.7 原子電子器件 340
7.8 納米電子器件的集成和量子計(jì)算機(jī) 344
7.9 三代電子器件的比較和納米電子集成電路的探索 351
7.10 二維半導(dǎo)體材料納米器件 354
復(fù)習(xí)思考題 365
參考文獻(xiàn) 365
第8章 微機(jī)械和微機(jī)電系統(tǒng) 366
8.1 微機(jī)械和微機(jī)電系統(tǒng)的提出 367
8.2 微機(jī)械和微機(jī)電系統(tǒng)的理論基礎(chǔ) 369
8.3 微機(jī)械常用的材料 377
8.4 微機(jī)械和微機(jī)電系統(tǒng)的技術(shù)基礎(chǔ) 383
8.5 微傳感器 393
8.6 微致動(dòng)器 408
8.7 微型機(jī)器人 417
8.8 微型慣性儀表 424
8.9 微飛行器 438
8.10 微型衛(wèi)星 454
復(fù)習(xí)思考題 463
參考文獻(xiàn) 464
第9章 微機(jī)械和微機(jī)電系統(tǒng)的制造 466
9.1 微機(jī)械與微機(jī)電系統(tǒng)的制造技術(shù)簡(jiǎn)介 467
9.2 集成電路的制造過程簡(jiǎn)介 470
9.3 微機(jī)械器件的薄膜制造技術(shù) 474
9.4 光刻工藝中的曝光技術(shù) 478
9.5 光刻工藝中的刻蝕技術(shù)和立體光刻技術(shù) 490
9.6 LIGA技術(shù) 497
9.7 犧牲層工藝技術(shù) 508
9.8 微器件基板的鍵合技術(shù) 512
9.9 精密微機(jī)械加工和特種加工等在微機(jī)電系統(tǒng)制造中的應(yīng)用 520
復(fù)習(xí)思考題 534
參考文獻(xiàn) 535
附錄 537
附錄1 中國(guó)納米科技至2050年的發(fā)展目標(biāo)和可能取得的重要突破 537
附錄2 中國(guó)至2050年納米科技發(fā)展路線圖 542
名詞索引

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