微機電系統(tǒng)基礎（原書第2版）

　　相對于人們對涉及的非傳統(tǒng)物理的理解，MEMS技術發(fā)展得非?？?。只有深刻掌握其基本原理，才能促進MEMS技術的提高，才有可能進行微機電系統(tǒng)的設計和制造，并讓其在現(xiàn)有的和設想的各個領域廣泛應用。本書是MEMS手冊中的基礎部分，提供有關MEMS理論和技術基礎的文獻和參考。書中除了介紹MEMS在微小尺度方面的物理學、流體力學、力學、光學、電、潤滑，還包含了控制理論、分布式控制及軟計算的內容。這些內容涉及未來應用的各種重要基礎知識，將其應用于微傳感器和微執(zhí)行器能夠實現(xiàn)節(jié)約能源的有效控制并提高人工裝置性能。本書可供MEMS技術人員和設計人員使用，也可供MEMS專業(yè)的高年級本科生和研究生參考。

　　Mohamed Gad-el-Hak，1966年于艾因·夏姆斯大學（埃及）獲得了他的學士學位（成績優(yōu)異），1973年從約翰·霍普金斯大學獲得他的流體力學博士學位，在那里他與Stanley Corrsin教授一起工作。Gad-el-Hak此后在南加州大學、弗吉尼亞大學、圣母大學、格勒諾布爾國立理工學院、普瓦捷大學、埃爾朗根-紐倫堡的弗里德里希-亞歷山大大學、慕尼黑工業(yè)大學和柏林工業(yè)大學進行過教學和研究活動，并在美國和海外研討會廣泛地演講。Gad-el-Hak博士目前是位于里士滿的弗吉尼亞聯(lián)邦大學生物醫(yī)學工程系的伊內茲考迪爾教授和機械工程系的首席教授。在被圣母大學任命為航空航天和機械工程系教授之前，Gad-el-Hak是華盛頓州西雅圖一個流量研究公司的高級研究科學家和項目經理，在那里他管理各種空氣動力學和流體動力學研究項目。Gad-el-Hak教授由于開發(fā)出幾個新的湍流診斷工具而聞名世界，其中包括激光誘導熒光（LIF）技術實現(xiàn)流體的可視化；發(fā)現(xiàn)了通過不穩(wěn)定的周圍平流層實現(xiàn)湍流區(qū)快速增長的高效機制；開創(chuàng)性地進行了有關湍流邊界層的流體與柔性表面相互作用的實驗；引入目標控制概念，實現(xiàn)了壁面邊界流動的阻力減小、升力增強和混合增強；以及開發(fā)出一種新型的黏性泵以適合微機電系統(tǒng)（MEMS）的應用。Gad-el-Hak于1994年發(fā)表的湍流邊界層Reynolds數(shù)效應工作是該主題范式轉變的標志。他于1999年發(fā)表的微型器件流體力學的論文為該新興領域建立了堅實的物理根基，是20世紀90年代被引用多的文章之一。Gad-el-Hak擁有兩項專利：一個是飛機和潛水器的減阻方法，另外一個是用于三角翼的上升控制裝置。Gad-el-Hak博士發(fā)表了超過450篇文章，撰寫/編輯了14本書和會議文集，在各向同性湍流、邊界流動、分層流動、流體-結構相互作用、柔性膜、非穩(wěn)態(tài)空氣動力學、生物流動、非Newtonian流體、硬件和軟計算包括遺傳算法、流量控制以及微機電系統(tǒng)的基礎和應用研究領域做了250多個邀請報告。Gad-el-Hak的論文已經在技術文獻中被引用超過1000次。他是Flow Control： Passive， Active， and Reactive Flow Management的撰稿人，是Frontiers in Experimental Fluid Mechanics、Advances in Fluid Mechanics Measurements、Flow Control： Fundamentals and Practices， The MEMS Handbook， Transition and Turbulence Control的編輯。Gad-el-Hak教授是美國力學會會士、美國物理學會會士和終生成員、美國機械工程師學會會士、美國航空航天研究所助理會士以及歐洲力學會的會員。近，他被推選為Tau Beta Pi的杰出工程師，Sigma Gamma Tau和Pi Tau Sigma的榮譽會員，以及Sigma Xi的自由會員。1988～1991年，Gad-el-Hak博士擔任了AIAA雜志的副主編。他目前擔任e-MicroNanocom主編，是Applied Mechanics Reviews和e-Fluids的副主編，以及Springer-Verlag的Lecture Notes in Engineering和Lecture Notes in Physics，McGraw-Hill的Year Book of Science and Technology和CRC出版社的Mechanical Engineering Series的特約編輯。Gad-el-Hak博士擔任了埃及、法國、德國、意大利、波蘭、新加坡、瑞典、英國、美國政府、聯(lián)合國以及眾多工業(yè)組織的顧問。Gad-el-Hak教授一直是美國國防部、能源部、航天局和國家科學基金會幾個咨詢小組的成員。在1991/1992學年，他在法國格勒諾布爾法蘭西機械學院任客座教授。在1993年、1994年和1997年的夏天， Gad-el-Hak博士分別在羅德島新港海軍水下作戰(zhàn)中心作為杰出教授研究員，在法國普瓦捷大學作為訪問教授，在德國德累斯頓的Forschungszentrum Rossendorf作為訪問科學家。1998年， Gad-el-Hak教授被評為第十四屆ASME弗里曼學者。1999年，Gad-el-Hak獲得了著名的亞歷山大·馮·洪堡獎——德國為美國所有領域的資深科學家和學者頒發(fā)的高科研獎——以及日本政府為外國學者頒發(fā)的研究獎。2002年，Gad-el-Hak被評為ASME杰出講師，并入選約翰·霍普金斯大學學者協(xié)會。