半導體制造工藝控制理論

定　價：￥49.00

作　者：	王少熙
出版社：	西北工業(yè)大學出版社
叢編項：
標　簽：	暫缺

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ISBN：	9787561259535	出版時間：	2017-01-01	包裝：
開本：	其他	頁數：		字數：

內容簡介

　　穩(wěn)定受控的半導體制造工藝是實現芯片高可靠性水平的重要方法。本書從工序能力指數、統(tǒng)計過程控制和實驗設計三個方面展開，詳細講述三種技術的常規(guī)理論和特殊應用方法和模型。內容包括常規(guī)工序能力指數，特殊工序能力指數，常規(guī)過程控制技術，特殊過程控制技術，實驗設計及工藝表征以及系統(tǒng)健康管理概念。