集成電路制造技術(shù)

第1篇 集成電路及其設(shè)計與制造
第1章 微電子改變了人們的生活
1．1 集成電路的簡要歷史
1．2 集成電路改變?nèi)藗兩?br />1．3 集成電路對生活的改變——未來展望
第2章 集成電路近30年的發(fā)展
2．1 半導體與集成電路的產(chǎn)生及早期的發(fā)展
2．2 摩爾定律
2．3 集成電路發(fā)展史的幾個重要節(jié)點
2．4 集成電路產(chǎn)業(yè)，集成電路職場
第3章 集成電路的設(shè)計與制造技術(shù)及其基本原理
3．1 集成電路的設(shè)計與制造之間的關(guān)系及橋梁
3．2 集成電路的設(shè)計、仿真、檢驗
3．3 半導體器件基本原理
3．4 集成電路基本原理
第2篇 集成電路的基本工藝方法
第4章 圖形化：光刻工藝
4．1 光學系統(tǒng)
4．2 掩膜版技術(shù)
4．3 光刻膠
4．4 光刻技術(shù)
4．5 光刻缺陷
4．6 深紫外光刻工藝技術(shù)
第5章 集成電路工藝的“加法”：薄膜生長與淀積
5．1 薄膜生長技術(shù)
5．2 薄膜淀積技術(shù)
5．3 薄膜的表征
5．4 集成電路常用薄膜
第6章 集成電路工藝的“減法”：薄膜的刻蝕
6．1 薄膜刻蝕概述
6．2 濕法刻蝕
6．3 干法刻蝕
6．4 剝離技術(shù)（Lift-off）
6．5 CMP技術(shù)
第7章 改性與摻雜工藝
7．1 擴散工藝技術(shù)
7．2 離子注入技術(shù)
7．3 退火與熱處理工藝
第3篇 集成電路工程學及其后勤工程
第8章 集成電路工程學
8．1 集成電路質(zhì)量控制的工程學方法：6笤?，Cpk，統(tǒng)計質(zhì)量控制（SQC）
8．2 實驗設(shè)計方法（DOE）
8．3 晶片的良率
8．4 可靠性
8．5 生產(chǎn)集成與自動化，計算機集成制造
8．6 設(shè)備通信及裝置自動化
8．7 半導體計算機集成公司（Fabless）與半導體制造廠商（Foundry）合作狀況，集成電路顧問公司（IC Consulting）的支援
第9章 集成電路的后勤工程
9．1 晶體、晶圓、SOI及異質(zhì)襯底
9．2 集成電路制造中的材料及化學品
9．3 硅片清洗工藝，化學清洗與物理清洗、金屬的去除與有機污染
9．4 清洗技術(shù)
9．5 微分析技術(shù)，常用微分析儀器，故障分析FA
9．6 超凈間
9．7 集成電路供應(yīng)鏈，集成電路產(chǎn)業(yè)鏈