氣態(tài)分子污染及控制技術(shù)

第1章 緒論
1.1 背景
1.2 氣態(tài)分子污染物及其分類
1.3 氣態(tài)分子污染物的來(lái)源
1.3.1 外部來(lái)源
1.3.2 內(nèi)部來(lái)源
1.3.3 按AMC分類的來(lái)源
1.3.4 按散發(fā)源分類的來(lái)源
參考文獻(xiàn)
第2章 氣態(tài)分子污染物的影響
2.1 AMC對(duì)制程的影響
2.2 各類AMC的影響
2.2.1 酸性分子污染物
2.2.2 堿性分子污染物
2.2.3 可凝結(jié)分子污染物
2.2.4 摻雜污染物
參考文獻(xiàn)
第3章 電子潔凈室氣態(tài)分子污染環(huán)境控制標(biāo)準(zhǔn)及檢測(cè)方法
3.1 電子潔凈室環(huán)境控制標(biāo)準(zhǔn)發(fā)展歷史
3.2 電子潔凈室AMC相關(guān)規(guī)范簡(jiǎn)介
3.2.1 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO 14644
3.2.2 日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)委員會(huì)JIS B9917
3.2.3 國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會(huì)SEMI標(biāo)準(zhǔn)
3.2.4 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 25915和GB/T 36306
3.2.5 國(guó)際器件與系統(tǒng)藍(lán)圖標(biāo)準(zhǔn)
3.3 氣態(tài)分子污染相關(guān)標(biāo)結(jié)與對(duì)比
3.3.1 不同國(guó)家和地區(qū)的潔凈室控制規(guī)范
3.2.2 不同機(jī)構(gòu)組織的潔凈室控制規(guī)范
3.3.3 建筑環(huán)境與潔凈室環(huán)境控制規(guī)范
3.3.4 大氣環(huán)境與潔凈室環(huán)境控制規(guī)范
3.3.5 對(duì)比討論
3.4 潔凈室AMC：檢測(cè)及監(jiān)測(cè)方法
3.4.1 酸性氣態(tài)分子污染物檢測(cè)
3.4.2 堿性氣態(tài)分子污染物檢測(cè)
3.4.3 可凝結(jié)氣態(tài)分子污染物檢測(cè)
3.4.4 摻雜污染物檢測(cè)
3.5 潔凈室AMC檢測(cè)實(shí)際案例
3.5.1 測(cè)試背景
3.5.2 測(cè)試方法
3.5.3 測(cè)試結(jié)果
參考文獻(xiàn)
第4章 吸附凈化技術(shù)
4.1 吸附技術(shù)
4.1.1 物理吸附
4.1.2 化學(xué)吸附
4.1.3 去除效率與吸附容量（容污量）
4.2 吸附理論
4.2.1 吸附等溫線分類
4.2.2 常見吸附等溫線模型
4.2.3 吸附動(dòng)力學(xué)
4.2.4 吸附穿透曲線
4.2.5 吸附帶理論
4.2.6 吸附床壓降模型
參考文獻(xiàn)
第5章 氣體污染物凈化材料
5.1 物理吸附材料
5.1.1 活性炭
5.1.2 活性氧化鋁
5.1.3 硅膠
5.1.4 沸石分子篩
5.1.5 金屬有機(jī)框架材料
5.2 化學(xué)吸附材料
5.2.1 浸漬活性炭和氧化鋁
5.2.2 離子交換樹脂
5.3 吸附凈化材料的選擇及影響因素
5.3.1 吸附凈化材料的選擇
5.3.2 吸附凈化材料性能的主要影響因素
5.4 氣體污染物凈化材料形式
5.4.1 珠狀活性炭
5.4.2 負(fù)載無(wú)紡布
5.4.3 擠壓型炭復(fù)合結(jié)構(gòu)
5.4.4 黏結(jié)濾材面板
參考文獻(xiàn)
第6章 氣態(tài)分子污染控制系統(tǒng)及設(shè)備
6.1 電子潔凈室環(huán)境控制系統(tǒng)
6.1.1 大廳式潔凈室及局部微環(huán)境系統(tǒng)
6.1.2 走道隔間式潔凈室系統(tǒng)
6.2 使用化學(xué)過(guò)濾器的氣態(tài)分子污染物控制系統(tǒng)
6.2.1 新風(fēng)處理機(jī)組（MAU）結(jié)合化學(xué)過(guò)濾器
6.2.2 回風(fēng)處理機(jī)組（RAU）結(jié)合化學(xué)過(guò)濾器
6.2.3 風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元結(jié)合化學(xué)過(guò)濾器
6.3 化學(xué)過(guò)濾器
6.3.1 化學(xué)過(guò)濾器濾芯種類
6.3.2 化學(xué)過(guò)濾器結(jié)構(gòu)形式
6.3.3 化學(xué)過(guò)濾器運(yùn)行參數(shù)
6.4 空氣水洗機(jī)
6.4.1 液氣比與水霧粒徑對(duì)去除效率的影響
6.4.2 吸收液水質(zhì)對(duì)去除效率的影響
6.5 潔凈室機(jī)臺(tái)晶圓盒的AMC控制
6.5.1 氣體吹掃法
6.5.2 真空充填凈化
6.6 超純凈空氣系統(tǒng)（UPA）
參考文獻(xiàn)
第7章 氣體凈化材料及化學(xué)過(guò)濾器性能評(píng)價(jià)
7.1 氣體污染物凈化材料性能評(píng)價(jià)方法及指標(biāo)
7.1.1 氣體污染物凈化材料性能評(píng)價(jià)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)
7.1.2 氣體污染物凈化材料性能評(píng)價(jià)指標(biāo)及方法
7.1.3 氣體污染物凈化材料性能測(cè)試方法及流程
7.2 典型氣體污染物凈化材料的性能測(cè)試
7.2.1 典型甲苯凈化材料的性能
7.2.2 典型SO2凈化材料的性能
7.2.3 典型甲醛凈化材料的性能
7.3 化學(xué)過(guò)濾器性能評(píng)價(jià)方法及指標(biāo)
7.3.1 化學(xué)過(guò)濾器性能評(píng)價(jià)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)
7.3.2 化學(xué)過(guò)濾器性能評(píng)價(jià)指標(biāo)及計(jì)算方法
7.3.3 化學(xué)過(guò)濾器測(cè)試流程及測(cè)試系統(tǒng)
7.4 典型化學(xué)過(guò)濾器甲苯凈化性能測(cè)試
7.5 測(cè)試參數(shù)對(duì)凈化材料或裝置性能的影響
7.5.1 氣體種類
7.5.2 測(cè)試濃度
7.5.3 溫濕度
7.5.4 風(fēng)速
7.5.5 床層厚度
附表A
附表B
參考文獻(xiàn)
附錄1 專用名詞縮寫及簡(jiǎn)稱
附錄2 半導(dǎo)體工藝流程簡(jiǎn)介及相關(guān)術(shù)語(yǔ)