多晶硅納米薄膜壓阻式壓力傳感器

　　《多晶硅納米薄膜壓阻式壓力傳感器》對多晶硅納米薄膜的壓阻特性及其在壓力傳感器上的應用進行了研究。《多晶硅納米薄膜壓阻式壓力傳感器》共分為五章，章主要介紹了多晶硅納米薄膜及壓力傳感器的研究現(xiàn)狀，第二章主要介紹了工藝條件對多晶硅納米薄膜特性的影響，第三章主要介紹了多晶硅納米薄膜的楊氏模量，第四章主要介紹了多晶硅納米薄膜的壓力傳感器應用，第五章主要介紹了多晶硅納米薄膜壓力傳感器的測試與分析?！抖嗑Ч杓{米薄膜壓阻式壓力傳感器》可以作為高等學校微電子技術(shù)和材料科學與工程等相關專業(yè)的參考書。

　　陸學斌：：：：：：： 陸學斌，哈爾濱理工大學軟件與微電子學院副教授，哈爾濱工業(yè)大學博士。2010年畢業(yè)于哈爾濱工業(yè)大學航天學院。目前主要從事半導體材料、傳感器、模擬和數(shù)字集成電路等方面的相關研究。發(fā)表Ei或SCI檢索論文12篇，教改論文4篇；主持黑龍江省自然科學基金面上項目1項、黑龍江省教育科學十三五規(guī)劃課題1項、黑龍江省高等教育學會十三五規(guī)劃課題1項；申請并獲授權(quán)實用新型專利2項；出版教材4部。2016年獲哈爾濱理工大學校級優(yōu)秀教師，2018年獲哈爾濱理工大學校級三全育人之先進個人。