新型傳感技術(shù)及應用（第3版）

　　傳感器在當代科學技術(shù)中占有十分重要的地位，所有以計算機為基礎的自動化、智能化系統(tǒng)，都需要傳感器提供賴以做出實時決策的數(shù)據(jù)。近年來傳感器技術(shù)發(fā)展非常迅速，非常明顯的發(fā)展趨勢是：沿用傳統(tǒng)的作用原理和某些新效應，優(yōu)先使用晶體材料，采用微機械加工工藝和微電子技術(shù)，從傳統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設計轉(zhuǎn)向微機械加工工藝的微結(jié)構(gòu)設計，研制各種新型傳感器及傳感器系統(tǒng)，以滿足體積、質(zhì)量、功耗及動、靜態(tài)特性等方面的要求。本教材正是基于這一發(fā)展趨勢構(gòu)思、選材編著的。本教材簡要介紹了新型傳感技術(shù)的發(fā)展趨勢、傳感技術(shù)中的一些共性基礎問題；重點介紹了傳感器技術(shù)中采用的先進材料、以硅材料為重點的先進制造技術(shù)；重點介紹了一些具有代表性的傳感器敏感結(jié)構(gòu)的建模和模擬計算方法；介紹了多類具有代表性的傳感器的檢測原理及應用。本教材可作為儀器科學與技術(shù)、控制科學與工程、機械工程、物聯(lián)網(wǎng)工程等領域的高年級本科生、研究生的教材，也可供有關(guān)的工程技術(shù)人員參考。

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