(2)往復(fù)式真空泵

往復(fù)式真空泵(簡稱往復(fù)泵)又名活塞式真空泵，屬于低真空獲得設(shè)備。它與液環(huán)真空泵相比，具有真空度高、消耗功率低等優(yōu)點;與旋片真空泵相比，它能被制成大抽速的泵。這種泵的主要缺點是結(jié)構(gòu)復(fù)雜，老式泵帶有牽引移動配氣裝置。近年來往復(fù)泵在結(jié)構(gòu)上有了很大改進(jìn)，采用固定氣閥代替移動氣閥，簡化了結(jié)構(gòu)，改善了性能。并且在降低功率消耗、減少振動噪聲、提高轉(zhuǎn)速、縮小體積等方面也做了很多工作。

往復(fù)式真空泵從結(jié)構(gòu)形式上可分為立式和臥式兩種;從級數(shù)上可分為單級泵、雙級泵和三級泵;從抽氣方式上可分為單作用的和雙作用的;從潤滑方式上可分為有油潤滑和無油潤滑兩種。一般單級泵可獲得極限壓強為1330~2660Pa，雙級泵極限壓力可達(dá)4~7Pa，三級泵極限壓力可達(dá)0.1~2.6Pa。

圖1-2為往復(fù)式真空泵結(jié)構(gòu)和工作原理示意圖。工作時，單作用泵在電動機(jī)的驅(qū)動下，通過曲柄連桿機(jī)構(gòu)的作用，使汽缸的活塞做往復(fù)運動。當(dāng)活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運動時，由于氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內(nèi)氣體的密度不斷減小，形成了抽氣過程，此時被抽容器中的氣體經(jīng)過吸氣閥5進(jìn)入泵體左腔。當(dāng)活塞達(dá)到最右位置時，氣缸左腔內(nèi)就完全充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運動，此時吸氣閥5關(guān)閉。氣缸內(nèi)的氣體隨著活塞從右向左運動而逐漸被壓縮，當(dāng)氣缸內(nèi)氣體的壓力達(dá)到或稍大于一個大氣壓時，排氣閥4被打開，將氣體排到大氣中，完成一個工作循環(huán)。當(dāng)活塞再自左向右運動時，又重復(fù)前一循環(huán)，如此反復(fù)下去，被抽容器中最終達(dá)到某一穩(wěn)定平衡壓力。

圖1-2 往復(fù)式真空泵的結(jié)構(gòu)和工作原理圖

雙作用泵在氣缸兩端均有吸、排氣閥，見圖1-2(b)。當(dāng)活塞向下運動時，上邊的吸氣閥吸氣，排氣閥關(guān)閉;下邊的排氣閥排氣，吸氣閥關(guān)閉。當(dāng)活塞向上運動時，下邊的吸氣閥吸氣，排氣閥關(guān)閉;上邊的排氣閥排氣，吸氣閥關(guān)閉?；钊鶑?fù)一次，實現(xiàn)兩次吸、排氣過程，在同樣泵腔容積的情況下，抽速比單作用泵提高一倍。

(3)旋片式真空泵

旋片式真空泵(簡稱旋片泵)是一種變?nèi)菔綒怏w傳輸真空泵，為真空技術(shù)中最基本的真空獲得設(shè)備之一。其工作壓力范圍為105~1.33×10-2Pa，屬于低真空泵。它可以單獨使用，也可以作為其他高真空的前級泵，用以抽出密閉容器內(nèi)的干燥氣體。若有氣鎮(zhèn)裝置還可以抽出一定量的可凝性氣體，但旋片泵不適合于抽出含氧量過高的、有爆炸性的、對金屬有腐蝕性的、與泵油發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的、含有顆粒塵埃的氣體。

葉片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧、端蓋等組成，如圖1-3所示。轉(zhuǎn)子偏心安裝在泵體內(nèi)，圓柱形轉(zhuǎn)子的直徑位置有通孔裝有兩塊滑片，中間有彈簧支撐，使片端與泵體始終密切接觸。當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時葉片沿著泵體空腔內(nèi)壁滑動，并將空腔分割成月牙形空間A、B、C三部分。若轉(zhuǎn)子按圖中箭頭方向旋轉(zhuǎn)時，A空間的容積增加，壓力降低，氣體經(jīng)泵口被吸入，此時處于吸氣過程;B空間的容積減小，壓力增加，處于壓縮過程;C空間的容積進(jìn)一步減小，壓力進(jìn)一步增加，當(dāng)壓力超過排氣壓力時，壓縮氣體推開泵油密封的排氣閥，處于向大氣中排氣的過程。在泵的連續(xù)運轉(zhuǎn)過程中，不斷進(jìn)行著吸氣、壓縮和排氣過程，從而達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。