圖1-3 旋片式真空泵工作原理圖

圖1-4為雙級(jí)旋片泵結(jié)構(gòu)圖，當(dāng)高真空級(jí)腔與低真空級(jí)腔不等時(shí)，需要在兩級(jí)之間設(shè)置輔助排氣閥。輔助排氣閥的作用是在入口壓力較高、經(jīng)高真空級(jí)腔壓縮的氣體已經(jīng)達(dá)到排氣壓力時(shí)，輔助壓力閥打開，部分氣體由輔助排氣閥排出，部分氣體被低真空級(jí)腔抽走。隨著泵入口壓力的降低，輔助排氣閥的排氣量逐漸減少，直至最后關(guān)閉。

圖1-4 雙級(jí)泵結(jié)構(gòu)示意圖

氣鎮(zhèn)閥是旋片泵為抽除可凝性氣體而設(shè)置的。是防止抽出氣體中有水汽凝結(jié)，而在泵中抽出氣體被壓縮時(shí)通過一專用閥引入一些空氣，稀釋水汽濃度以免凝結(jié)。此外，為了防止泵噴油、返油，改善泵的潤(rùn)滑條件，擴(kuò)大泵的使用范圍。旋片泵還配有多種附件，如油霧捕集器、分子過濾器、塵粒過濾器、化學(xué)過濾器、油過濾器等。

(4)滑閥泵

滑閥泵與旋片泵類似，也是一種變?nèi)菔綒怏w傳輸真空泵?；y泵主要由泵體、偏心輪、滑閥組件和導(dǎo)軌等組成?；y泵工作原理如圖1-5所示。與泵腔同心的驅(qū)動(dòng)軸帶動(dòng)偏心輪旋轉(zhuǎn)，偏心輪帶動(dòng)滑閥環(huán)運(yùn)動(dòng)，使滑閥桿在導(dǎo)軌中上下滑動(dòng)和左右擺動(dòng)?；y將泵腔分成A、B兩個(gè)部分。當(dāng)驅(qū)動(dòng)軸按圖中所示方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，A腔的容積增加，壓力降低，泵入口氣體經(jīng)滑閥桿A腔一側(cè)的開口進(jìn)入A腔，此時(shí)處于吸氣過程。當(dāng)滑閥處于左上方位置時(shí)[見圖2-5(c)]，A容積達(dá)到最大，此時(shí)進(jìn)氣口與A腔隔斷，完成吸氣過程;B腔的容積減小，壓縮氣體。當(dāng)B腔內(nèi)氣體壓力達(dá)到排氣壓力時(shí)，推開油封的排氣閥，開始排氣。當(dāng)滑閥處于左上方位置時(shí)，排氣終了。在連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，泵不斷地進(jìn)行吸氣、壓縮和排氣過程，從而達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。