圖1-3 旋片式真空泵工作原理圖

圖1-4為雙級旋片泵結(jié)構(gòu)圖，當高真空級腔與低真空級腔不等時，需要在兩級之間設(shè)置輔助排氣閥。輔助排氣閥的作用是在入口壓力較高、經(jīng)高真空級腔壓縮的氣體已經(jīng)達到排氣壓力時，輔助壓力閥打開，部分氣體由輔助排氣閥排出，部分氣體被低真空級腔抽走。隨著泵入口壓力的降低，輔助排氣閥的排氣量逐漸減少，直至最后關(guān)閉。

圖1-4 雙級泵結(jié)構(gòu)示意圖

氣鎮(zhèn)閥是旋片泵為抽除可凝性氣體而設(shè)置的。是防止抽出氣體中有水汽凝結(jié)，而在泵中抽出氣體被壓縮時通過一專用閥引入一些空氣，稀釋水汽濃度以免凝結(jié)。此外，為了防止泵噴油、返油，改善泵的潤滑條件，擴大泵的使用范圍。旋片泵還配有多種附件，如油霧捕集器、分子過濾器、塵粒過濾器、化學過濾器、油過濾器等。

(4)滑閥泵

滑閥泵與旋片泵類似，也是一種變?nèi)菔綒怏w傳輸真空泵?；y泵主要由泵體、偏心輪、滑閥組件和導軌等組成?；y泵工作原理如圖1-5所示。與泵腔同心的驅(qū)動軸帶動偏心輪旋轉(zhuǎn)，偏心輪帶動滑閥環(huán)運動，使滑閥桿在導軌中上下滑動和左右擺動?；y將泵腔分成A、B兩個部分。當驅(qū)動軸按圖中所示方向轉(zhuǎn)動時，A腔的容積增加，壓力降低，泵入口氣體經(jīng)滑閥桿A腔一側(cè)的開口進入A腔，此時處于吸氣過程。當滑閥處于左上方位置時[見圖2-5(c)]，A容積達到最大，此時進氣口與A腔隔斷，完成吸氣過程;B腔的容積減小，壓縮氣體。當B腔內(nèi)氣體壓力達到排氣壓力時，推開油封的排氣閥，開始排氣。當滑閥處于左上方位置時，排氣終了。在連續(xù)運轉(zhuǎn)過程中，泵不斷地進行吸氣、壓縮和排氣過程，從而達到連續(xù)抽氣的目的。