圖1-5 滑閥泵工作原理圖

圖1-6為滑閥泵結(jié)構(gòu)圖?；y泵的實際產(chǎn)品中均采用滑閥桿與滑閥環(huán)做成一體的結(jié)構(gòu)。

圖1-6 滑閥泵結(jié)構(gòu)圖

為減少滑閥不平衡慣性力引起的振動，對于單缸單級泵，要在驅(qū)動輪的對面一側(cè)加平衡輪，并在驅(qū)動輪上加不平衡質(zhì)量進行平衡減振;對于雙缸滑閥泵，采用兩個滑閥長度比一般為2:1，相差設(shè)置，再在驅(qū)動輪上加不平衡質(zhì)量。對于三缸滑閥泵，有等長缸和不等長缸兩種形式，常見為不等長缸。不等長缸，中間是長缸，兩側(cè)各為等長短缸，長缸與短缸壁為2:1，相差布置。中間滑閥產(chǎn)生的慣性力由兩側(cè)滑閥產(chǎn)生的相反方向的慣性力所平衡，因此，三缸滑閥泵的振動很小，無需將泵固定在地基上就可以正常工作。

與旋片泵相似，滑閥泵也設(shè)有氣鎮(zhèn)閥，氣鎮(zhèn)孔開在排氣口附近或端蓋上，以排出含有可凝性蒸氣。在極限壓力下，為減小泵油沖擊排氣閥產(chǎn)生的噪聲，也可以通過氣鎮(zhèn)閥向泵內(nèi)通人少量干燥空氣。

在滑閥泵出口處設(shè)置有油霧捕集器，用以捕集合回收由排氣閥排出的混在被抽氣體中的油滴，既可以節(jié)省泵油，又可以減少對環(huán)境的污染。油霧捕集器一般有三級:第一級是碰撞罩，除去較大的油滴;第二級是不銹鋼填料，搜集小油滴;第三級是燒結(jié)的玻璃纖維，捕集可見油霧。

(5)羅茨真空泵

羅茨真空泵(簡稱羅茨泵)是一種無內(nèi)壓縮的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菔秸婵毡?。根?jù)羅茨泵工作壓力范圍不同，可分為直排大氣的干式羅茨泵和濕式羅茨泵，這種羅茨泵屬于低真空羅茨泵;此外還有中真空羅茨泵(機械增壓泵)和高真空多級羅茨泵等。羅茨泵具有以下的特點:

①在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;

②設(shè)有旁通溢流閥，可在大氣壓力下啟動，縮短了抽氣時間;

③轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵腔壁之間有間隙，泵內(nèi)運動無摩擦，不必潤滑，泵腔內(nèi)無油;

④轉(zhuǎn)子形狀對稱，動平衡性能良好，運動平穩(wěn)，選擇高精度的齒輪傳動，運動時噪聲低;

⑤結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，通常選臥式結(jié)構(gòu)，泵腔內(nèi)氣體垂直流動，有利于被抽的灰塵或冷凝物的排除;

⑥選擇適宜的轉(zhuǎn)子型線和精細的研磨加工，可獲得較高的容積效率;

⑦運轉(zhuǎn)維護費用低。